重大新闻，默孚龙光纤滑环应用等离子蚀刻机，助力“中国芯”

  等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

  全自动等离子蚀刻机的基本原理是在真空低气压下，ICP 射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈，以一定比例的混合刻蚀气体经耦合辉光放电，产生高密度的等离子体，在下电极的RF 射频作用下，这些等离子体对基片表面进行轰击，基片图形区域的半导体材料的化学键被打断，与刻蚀气体生成挥发性物质，以气体形式脱离基片，从真空管路被抽走。全自动等离子蚀刻机工作需要360°旋转，会遇到绕线问题，默孚龙推荐使用MFO系列光纤滑环。

  默孚龙MFO系列光纤滑环是目前工业滑环里面技术难度最高的的一个系列产品，主要应用于360度连续旋转且需要保证电源，光纤信号不能中断的场合：如高端机器人、高端物料输送系统、军用车辆上的转动炮塔、远程控制系统、雷达天线、光纤传感等转台（速率台）的高速视频、数字、模拟信号的传输和控制、医疗系统、视频监视系统、保障国家或国际安全系统海底作业系统、紧急照明设备、机器人、展览/显示设备、医疗设备等。

  默孚龙拥有强大的研发实力，丰富的经验，独特的设计理念，先进的测试技术，以及数年来的技术积累和对国外先进技术的合作及吸收，使我们的技术始终保持国际领先水平，引领行业。

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